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集成电路制造技术
:杜中一
作者：
杜中一
出版社：
化学工业出版社
出版时间：
2016
ISBN：
978-7-122-26284-4
索书号：
TN405/14
分类号：
TN405
页数：
172页
价格：
35.00
复本数：
在馆数：
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本书全面系统地介绍了集成电路制造技术, 内容包括: 集成电路制造概述、多晶半导体的制备、单晶半导体的制备、晶圆制备、薄膜制备、金属有机物化学气相沉积、光刻、刻蚀及掺杂。本书简要介绍了集成电路制造的基本理论基础, 系统介绍了多晶半导体、单晶半导体与晶圆的制备, 详细介绍了薄膜制备、光刻与刻蚀及掺杂等工艺。
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