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    微机电系统基础:(美) Chang Liu

    作者:(美) Chang Liu 出版社:机械工业出版社 出版时间:2008 ISBN:978-7-111-23167-7
    索书号:TM38/2 分类号:TM38 页数:17, 530页 价格:59.00
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    本书全面论述了微机电系统 (MEMS) 的基础知识, 涵盖了MEMS技术的主要方面, 同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文, 为学生深入学习MEMS技术提供了指引。
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    微机电系统设计与加工:(美) Mohamed Gad-el-Hak, 张海霞, 赵小林

    作者:(美) Mohamed Gad-el-Hak, 张海霞, 赵小林 出版社:机械工业出版社 出版时间:2010 ISBN:978-7-111-28597-7
    索书号:TM38/7 分类号:TM38 价格:63.00
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    本书主要介绍MEMS技术中材料和加工方面的知识。包括MEMS中的材料, LIGA及其微模压, 基于X射线的加工, EFAB技术及其应用, 单晶Sic MEMS制造等。
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    微机电系统基础:(美) Chang Liu, 黄庆安

    作者:(美) Chang Liu, 黄庆安 出版社:机械工业出版社 出版时间:2007 ISBN:978-7-111-22333-7
    索书号:TM38/5 分类号:TM38 页数:XI, 365页 价格:49.00
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    全书共分16章。其中内容包括: 基本传感原理和制造方法、讨论了当今MEMS实践中所必须掌握的电学和机械工程基本知识、分别描述了静电、热、压阻、压电等。
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    超声电机技术与应用:赵淳生

    作者:赵淳生 出版社:科学出版社 出版时间:2007 ISBN:978-7-03-019750-4
    索书号:TM38/13 分类号:TM38 页数:xiv, 566页, [4] 页 价格:99.00
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    本书阐述了超声电机的运动机理、机电耦合模型、结构参数优化设计、驱动与控制技术, 总结了著者及其团队15年来在超声电机技术方面的发展与创新。
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    动态微机电系统: 理论与应用:何广平 ...

    作者:何广平 ... 出版社:科学出版社 出版时间:2012 ISBN:978-7-03-034316-1
    索书号:TM38/15 分类号:TM38 页数:384页 价格:80.00
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    本书共6章, 主要内容包括: 动态MEMS主要技术领域的简况 ; 动态MEMS中常用的功能材料及其制备方法 ; 动态MEMS器件的主要设计方法及其发展现状等。
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    超声波电机运动控制理论与技术:史敬灼

    作者:史敬灼 出版社:科学出版社 出版时间:2011 ISBN:978-7-03-032487-0
    索书号:TM38/14 分类号:TM38 页数:416页 价格:80.00
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    本书阐述了超声波电机运动控制理论及具体装置的设计方法与实现技术, 反映了超声波电机运动控制领域的最新进展。主要包括: 超声波电机驱动控制电路设计、系统建模方法与仿真技术、运动控制理论与实现技术等。
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    微系统和纳米技术:周兆英, 王中林, 林立伟

    作者:周兆英, 王中林, 林立伟 出版社:科学出版社 出版时间:2007 ISBN:978-7-03-017771-1
    索书号:TM38/1 分类号:TM38 页数:xx, 820页 价格:98.00
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    本书由40多位国内外著名专家学者分章撰写,分为微系统和纳米科学技术基础、微系统技术、纳米技术、应用问题、发展和展望五个部分,共26章。
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    微机电系统机械学:张向军

    作者:张向军 出版社:清华大学出版社 出版时间:2012 ISBN:978-7-302-30017-5
    索书号:TM38/16 分类号:TM38 页数:157页 价格:25.00
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    本书论述了微机电系统的力学原理基础及其规律, 内容主要针对机械系统的特征尺度降低到微米和纳米量级时出现的主导作用力及各种微观效应。
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    超声电机技术与应用:赵淳生

    作者:赵淳生 出版社:科学出版社 出版时间:2007 ISBN:978-7-03-019750-4
    索书号:TM38/3 分类号:TM38 页数:xiv, 566页, [4] 页 价格:98.00
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    本书阐述了超声电机的运动机理、机电耦合模型、结构参数优化设计、驱动与控制技术, 总结了著者及其团队15年来在超声电机技术方面的发展与创新。
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    MEMS强链及其应用:陈文元, 张卫平

    作者:陈文元, 张卫平 出版社:科学出版社 出版时间:2007 ISBN:978-7-03-018329-3
    索书号:TM38/6 分类号:TM38 页数:132页 价格:25.00
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    本书详细介绍了MEMS强链总体设计, UQS码的生成和机械固化, 微驱动器的设计和控制, 强链的制造, 强链的自辨识复位, 以及强链在计算机认证、网络物理隔离、硬盘加密等方面的应用。
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