微机电系统设计与加工/(美) Mohamed Gad-el-Hak, 张海霞, 赵小林

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设置4:本书主要介绍MEMS技术中材料和加工方面的知识。包括MEMS中的材料, LIGA及其微模压, 基于X射线的加工, EFAB技术及其应用, 单晶Sic MEMS制造等。

附注提要

本书主要介绍MEMS技术中材料和加工方面的知识。包括MEMS中的材料, LIGA及其微模压, 基于X射线的加工, EFAB技术及其应用, 单晶Sic MEMS制造等。

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