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赵小林
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微机电系统应用
:(美) Mohamed Gad-el-Hak, 张海霞, 赵小林, 金玉丰
作者：
(美) Mohamed Gad-el-Hak, 张海霞, 赵小林, 金玉丰
出版社：
机械工业出版社
出版时间：
2009
ISBN：
978-7-111-26733-1
索书号：
TN4/19
分类号：
TN4
页数：
X, 467页
价格：
108.00
复本数：
在馆数：
累借天数：
累借次数：
本书是MEMS系列图书中的一本, 主要介绍MEMS技术应用方面的知识。内容包括: 惯性传感器、微机械压力传感器、表面微加工器件、微执行器、湍流传感器与执行器等。
详细信息
索书号
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微机电系统设计与加工
:(美) Mohamed Gad-el-Hak, 张海霞, 赵小林
作者：
(美) Mohamed Gad-el-Hak, 张海霞, 赵小林
出版社：
机械工业出版社
出版时间：
2010
ISBN：
978-7-111-28597-7
索书号：
TM38/7
分类号：
TM38
价格：
63.00
复本数：
在馆数：
累借天数：
累借次数：
本书主要介绍MEMS技术中材料和加工方面的知识。包括MEMS中的材料, LIGA及其微模压, 基于X射线的加工, EFAB技术及其应用, 单晶Sic MEMS制造等。
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文献类型
中文图书
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出版社
机械工业出版社
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机械工业出版社
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作者
(美) Mohamed Gad-el-Hak, 张海霞, 赵小林
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出版年
2009
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2010
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