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微电子机械系统力学性能及尺寸效应
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微电子机械系统力学性能及尺寸效应
:刘凯, 韩光平
作者：
刘凯, 韩光平
出版社：
机械工业出版社
出版时间：
2009
ISBN：
978-7-111-25575-8
索书号：
TN405/5
分类号：
TN405
页数：
XI, 209页
价格：
30.00
复本数：
在馆数：
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累借次数：
本书共分9章, 分析了MEMS的特征及其近期发展 ; 详细分析了尺寸效应的内涵 ; 建立尺寸效应泛函的分析模型 ; 研究了单晶硅微桥式梁弯曲强度的尺寸效应及分布规律。
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