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微电子机械系统力学性能及尺寸效应
/刘凯, 韩光平
作者
刘凯,
韩光平
价格
CNY30.00
出版者
机械工业出版社
索书号
TN405/5
ISBN
978-7-111-25575-8
分类号
TN405
页数
XI, 209页
出版日期
20090001
出版地
北京
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:韩光平
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:本书共分9章, 分析了MEMS的特征及其近期发展 ; 详细分析了尺寸效应的内涵 ; 建立尺寸效应泛函的分析模型 ; 研究了单晶硅微桥式梁弯曲强度的尺寸效应及分布规律。
附注提要
本书共分9章, 分析了MEMS的特征及其近期发展 ; 详细分析了尺寸效应的内涵 ; 建立尺寸效应泛函的分析模型 ; 研究了单晶硅微桥式梁弯曲强度的尺寸效应及分布规律。
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