附件:设置1:设置2:设置3:设置4:本书以实际应用为出发点, 抓住目前半导体工艺的主流工艺技术逐一进行介绍, 例如CVD、PVD、CMP、ETCH、Photo、IMP。然后再通过图文对照的形式对典型工艺进行介绍, 例如隔离技术的发展、Salicide工艺技术、ESD IMP工艺技术、Al和Cu金属互连。然后把这些工艺技术应用于实际工艺流程中, 通过实例让大家能快速地掌握具体工艺技术的实际应用。
附注提要
本书以实际应用为出发点, 抓住目前半导体工艺的主流工艺技术逐一进行介绍, 例如CVD、PVD、CMP、ETCH、Photo、IMP。然后再通过图文对照的形式对典型工艺进行介绍, 例如隔离技术的发展、Salicide工艺技术、ESD IMP工艺技术、Al和Cu金属互连。然后把这些工艺技术应用于实际工艺流程中, 通过实例让大家能快速地掌握具体工艺技术的实际应用。