返回检索首页
我的图书馆登录
书 名
作 者
分类号
ISBN
索书号
主题词
出版社
任意词
每页显示
10
20
50
排序选项
排序方式
出版日期
索书号
出版社
排序方式
降序排列
升序排列
张汝京
共有
1
条记录
共耗时[1.000]秒
页码：
1
/
1
每页显示：
10
记录
跳转：
纳米集成电路制造工艺
:张汝京
作者：
张汝京
出版社：
清华大学出版社
出版时间：
2017
ISBN：
978-7-302-45233-1
索书号：
TN405/13=2
分类号：
TN405
页数：
XIV, 471页
价格：
89.00
复本数：
在馆数：
累借天数：
累借次数：
本书共分19章, 涵盖先进集成电路工艺的发展史, 集成电路制造流程、介电薄膜、金属化、光刻、刻蚀、表面清洁与湿法刻蚀、掺杂、化学机械平坦化, 器件参数与工艺相关性, DFM (Design for Manufacturing) , 集成电路检测与分析、集成电路的可靠性, 生产控制, 良率提升, 芯片测试与芯片封装等项目和课题。
详细信息
索书号
展开
缩小检索范围
文献类型
中文图书
(
1
)
出版社
清华大学出版社
(
1
)
只显示前10条......
清华大学出版社
(
1
)
查看更多信息......
作者
张汝京
(
1
)
只显示前10条......
张汝京
(
1
)
查看更多信息......
出版年
2017
(
1
)
只显示前10条......
2017
(
1
)
查看更多信息......
张汝京
共有
1
条记录
共耗时[1.000]秒
页码：
1
/
1
每页显示：
10
记录
跳转：