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严利人,
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微电子制造技术概论
:严利人, 周卫, 刘道广
作者：
严利人, 周卫, 刘道广
出版社：
清华大学出版社
出版时间：
2010
ISBN：
978-7-302-20818-1
索书号：
TN4/32
分类号：
TN4
页数：
17, 164页
价格：
19.00
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累借次数：
本书介绍和描述了集成电路工艺制造的成套工艺流程和各工艺单步的技术内容。对于流程的介绍, 除举例和说明一般性流程特点之外, 专有一章说明了流程调度实施的技术与算法 ; 对于各工艺单步, 首先根据各单项工艺技术的作用进行了粗略分类, 在此基础上, 从工艺原理、工艺设备技术特点、实践操作等不同侧面, 进行了略做扩展的描述。
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集成电路制造工艺技术体系
:严利人, 周卫
作者：
严利人, 周卫
出版社：
科学出版社
出版时间：
2017
ISBN：
978-7-03-050157-8
索书号：
TN405/11
分类号：
TN405
页数：
x, 239页
价格：
98.00
复本数：
在馆数：
累借天数：
累借次数：
本书从三方面来系统地论述集成电路的制造技术。首先是制造对象, 对于工艺结构及结构所对应的电子器件特性进行了深入的分析与揭示。其次是生产制造本身。详细讨论集成电路各单步作用的本质性特征及各不同工艺技术在成套流程中的作用 ; 讨论了高端制造的组织, 调度和管理, 工艺流程的监控, 工艺效果分析与诊断等内容。最后是支撑半导体制造的设备设施。
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中文图书
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清华大学出版社
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作者
严利人, 周卫
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